碳化硅涂层石墨盘就是采用物理或化学气相沉积、喷涂等方法，在石墨表面制备碳化硅保护层。制备的碳化硅保护层，可牢牢的巴结在石墨基体上，使石墨基座表面致密、无空隙，赋予石墨基体特殊的性能，包括抗氧化、耐酸碱、耐冲刷、耐腐蚀等。碳化硅涂层石墨盘是目前单晶硅外延生长用和氮化镓（GaN）外延生长用最好的基座之一，是外延炉的核心部件。
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邮箱：slsmmj@126.com
QQ：5253321
地址：广东省茂名市茂南区露天矿大塘西路35号
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